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工業型原子力顯微鏡

型 號FM-Nanoview LS- AFM

更新時間2026-01-29

所屬分類工業型原子力顯微鏡

訪問次數6049

產品描述:工業型原子力顯微鏡(FM-Nanoview LS- AFM),樣品尺寸、重量幾乎不受限制,特別適合晶圓片、超大光柵及光學玻璃等大樣品檢測。

產品概述

產品特色:


◆  實現商業化生產的大尺寸工業型原子力顯微鏡

◆  樣品尺寸、重量幾乎不受限制,特別適合晶圓片、超大光柵及光學玻璃等大樣品檢測

◆  樣品臺可拓展性強,非常便于進行多儀器聯用實現原位檢測

◆  一鍵式自動掃描,可任意編程多個測試點實現快速自動化檢測

◆  掃描圖像時樣品保持不動,驅動探針進行XYZ三維移動測量成像

◆  龍門架式掃描頭設計,大理石底座,真空吸附式載物臺

◆  一體化的機械振動減震及環境噪音屏蔽解決方案,極大降低系統噪音水平

◆  馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能快速進針方式,保護探針及樣品

◆  掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優于98%


技術參數:

工作模式

接觸模式、輕敲模式

Z升降臺

步進電機驅動控制,最小步長10nm

選配模式

摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力

Z升降行程

20mm(可選25mm)

力譜曲線

F-Z力曲線、RMS-Z曲線

光學定位

10X光學物鏡

XYZ掃描方式

探針驅動式XYZ掃描

攝像頭

500萬像素數字CMOS

XY掃描范圍

大于100um×100um

掃描速率

0.6Hz~30Hz

Z掃描范圍

大于10um

掃描角度

0~360°

掃描分辨率

橫向0.2nm,縱向0.05nm

運行環境

Windows 10操作系統

XY樣品臺

步進電機驅動控制,移動精度1um

通信接口

USB2.0/3.0

XY移動行程

200×200mm(可選300×300mm)

儀器結構

龍門架式掃描頭,大理石底座

樣品載物臺

直徑200mm(可選300mm)

減震方式

氣浮式減震+隔音屏蔽罩(可選主動式減震臺)

樣品重量

≤20Kg




 

 

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