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產品特色:
◆ 光學顯微鏡、原子力顯微鏡和拉曼光譜儀一體化設計，功能*
◆ 同時具備光學顯微鏡、原子力顯微鏡成像功能，以及拉曼光譜分析功能，互不影響
◆ 同時具備光學二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能
◆ 激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體，結構非常穩定，抗干擾性強
◆ 精密探針定位裝置，激光光斑對準調節非常簡便
◆ 單軸驅動樣品自動垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描
◆ 馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品
◆ 超高倍光學定位系統，實現探針和樣品掃描區域精確定位
◆ 集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優于98%
◆ 可支持405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm等多個波長
技術參數：
原子力顯微鏡：
| 工作模式 | 接觸模式、輕敲模式 | 光學目鏡 | 10X |
| 選配模式 | 摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力 | 照明方式 | 柯勒照明系統 |
| 力譜曲線 | F-Z力曲線、RMS-Z曲線 | 光學調焦 | 粗微動手動調焦 |
| XY掃描范圍 | 50×50um，可選20×20um，100×100um | 攝像頭 | 500萬像素CMOS傳感器 |
| Z掃描范圍 | 5um，可選2.5um，10um | 顯示屏 | 10.1寸平板顯示器，帶圖像測量功能 |
| 掃描分辨率 | 橫向0.2nm，縱向0.05nm | 掃描速率 | 0.6Hz~30Hz |
| 樣品尺寸 | Φ≤68mm，H≤20mm | 掃描角度 | 0~360° |
| 樣品臺行程 | 25×25mm | 運行環境 | Windows XP/7/8/10操作系統 |
| 光學物鏡 | 5X/10X/20X/50X平場復消色差物鏡 | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
拉曼：
| 拉曼光譜范圍 | 200-3600cm-1 |
| 分辨率 | <15cm-1@25μm slit |
| 激光器 | 532±1nm，線寬≤0.2nm（可選配不同波段的激光器） |
| 激光功率穩定性 | ≤3% P-P(@2hrs) |
| 輸出功率 | 0-100mW 可調 |
| 濾光片激光截止深度 | OD8 |
| 工作溫度 | 0-40℃ |
| 工作濕度 | 5-80% |
| 激光器壽命 | 5000hrs |
